具有特点
第一:灵活性。因为FFU是自带动力的,它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里,可根据需要,分区控制。而且,随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应调整,FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。
第二:可再利用性。从理论上讲,一时不用的FFU设备,可以拆下来,密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三:负压通风。这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压,使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样,静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里,使得密封变得很简单而且安全。
第四:缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装,因为风管在洁净工程中,占掉很大的建设周期,任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益,选用FFU成为了一种可能。
第五:减少运行成本。虽然在选用FFU时,初期投资要比使用风管通风高,但它在后期运行中,突出的表现出节能、免维护等特点。用在循环减少40%的运行成本。
型号 |
Z-FFU-2 |
Z-FFU-1 |
FFU尺寸 |
1176*576*380mm |
1226*616*380mm |
过滤器尺寸 |
1170*570*69mm |
1220*610*69 mm |
风量 |
1300 m3/h |
1800m3/h |
调速控制 |
风量调速器可任意调整风量大小 |
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电压/电流 |
单相220V/50HZ |
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输出功率 |
140W-240W |
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过滤器效率 |
HEPA0.3um99.99%以上 |
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重量 |
20KG |
25KG |
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